埃米仪器是一家芯片制造高精密量测设备研发商，专注于研发和生产用于芯片制造的纳米/亚纳米级三维结构高精密高速量检测装备，致力于国内高精密3D量测设备的国产化。其产品聚焦芯片制造过程中晶圆表面粗糙度、CMP轮廓、光刻及刻蚀中的三维结构等关键指标的在线检测和量测，主要应用于芯片制程中的微结构量测和缺陷检测，解决相关领域的卡脖子技术。